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SAL1000G是一款包含手套箱小型桌面ALD原子層沉積系統(tǒng)，具有良好的均勻性及*的階梯覆蓋性能，使用戶能夠精確控制每個(gè)原子層的沉積。通過手套箱，可在惰性氣體環(huán)境下進(jìn)行操作，并且可以防止吸入納米級(jí)顆粒。該設(shè)備是小型且經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的型號(hào)，與主機(jī)和控制電源相結(jié)合，追求僅在桌面上更容易操作。 它能夠處理多達(dá)4“晶圓的沉積，并對(duì)每個(gè)部件采取安全措施。
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